• 豆搜网 > 可调微型腔波导制造过程
  • 可调微型腔波导制造过程

    免费下载 下载此文档 文档格式:PDF   更新时间:2010-09-08   下载次数:0   点击次数:5
    鍙皟寰瀷鑵旀尝瀵煎埗閫犺繃绋?2.008 璁捐涓庡埗閫營I 2004骞存槬瀛?姝h鍥?渚ц鍥?閫氳繃娉㈠) 1.鍙嶅簲绂诲瓙鍒昏殌纭呮矡妲?2. 瑕嗙洊Pt搴曢潰鐢垫瀬 3. 瑕嗙洊PZT骞堕鐏?4. 瑕嗙洊Pt椤堕潰鐢垫瀬 纭呮尝瀵?涓缁村厜鏅?寰瀷鑵? 寰満鐢电郴缁熴佸井灏忎骇鍝? 绌烘皵 琛簳 SiO2鍙樺舰闅旇啘 闆嗘垚涓夊眰鍘?鐢靛井鎵ц鍣? 鍙皟寰瀷鑵旀尝瀵?銆?鍒堕犺繃绋?姝h鍥?渚ц鍥?閫氳繃娉㈠) 宸ヨ壓娴佺▼ 鏅剁墖 鍏夐樆娑傚眰 妯″紡杞崲 鍏夐樆鍘婚櫎 鍏夊埢 瑁呯疆 5.鍙嶅簲绂诲瓙鍒昏殌SiO2 6. 閫傚悎浜嶤r鎺╄啘鐨?PMMAX灏勭嚎鍏夊埢 7. CF4Si娉㈠鍙嶅簲绂诲瓙 鍒昏殌 8. XeF2鍚勫悜鍚屾х紦閲?铓鍒? 娌夌Н 姘у寲 婧呭皠 钂稿彂 鍖栧姘旂浉娌夌Н 鐔旇兌-鍑濊兌娉?鍙栧悜闄勭敓 铓鍒?婀挎硶鍚勫悜鍚屾ц殌鍒?婀挎硶鍚勫悜寮傛ц殌鍒?绛夌瀛愪綋铓鍒?娲绘х瀛愯殌鍒?纭呮繁鍒昏殌 婀挎硶杩樻槸骞叉硶锛?婀挎硶 浣庡垎瑙g壒寰佸ぇ灏?浣庢垚鏈?瀵逛簬鍚勫悜鍚屾у簳鍒?瀵逛簬鍚勫悜寮傛ф櫠鐗?铓鍒伙紝闇瑕佸鐨勮寖 鍥?婀挎硶铓鍒?鑳剁矘 鍚勫悜鍚屾?鍚勫悜寮傛? 铓鍒婚棶棰?鍚勫悜寮傛?骞叉硶 楂樺垎瑙g壒寰佸ぇ灏?楂樻垚鏈?鍨傜洿渚у 閬垮厤鑳剁矘 绛夌瀛?骞叉硶)铓鍒? 鈻?鈻? 缁撴瀯灞?鐗虹壊灞? 鎺╄啘 鍚勫悜寮傛? 鍚勫悜鍚屾? 1 铓鍒婚棶棰?閫夋嫨鎬?閫夋嫨鎬ф槸琚殌鍒荤殑鐩爣鏉愭枡鐨勮殌鍒荤巼涓?鍏跺畠鏉愭枡铓鍒荤巼鐨勬瘮銆?鍖栧铓鍒婚氬父姣旂瓑绂诲瓙铓鍒绘洿鍏烽夋嫨鎬?閫夋嫨鎬у鎺╄啘鏉愭枡鍜岃厫铓鍋滃緢閲嶈 鎺╄啘 浣撳井鍔犲伐 KOH铓鍒荤琛簳 V鍨嬫Ы銆佹矡 鍑归潰鍋滄銆佸嚫闈㈠簳鍒?(100)鍒?111)鈫掕殌鍒荤巼 浠?00鍒? 鍑歌 鍑硅 鎮噦姊? 鎺╄啘: SiO2:鐢ㄤ簬鐭湡 SiXNY:寰堝ソ 鎺烘潅寰堝P++鐨勭:鑵愯殌 鍋? 鐩爣 鑵愯殌鍋? 纭呰‖搴? 骞叉硶铓鍒?RIE(鍙嶅簲绂诲瓙铓鍒? 榛忔粸 閫氳繃灏勯婵鍙戝弽搴旂瀛愮殑鍖栧鍜岀墿鐞嗚殌鍒?鍔犻熺瀛愮殑杞板嚮锛屽悇鍚戝紓鎬?SF6鈫扴i銆丆HF3鈫掓哀鍖栫墿鍜岃仛鍚堜綋 鍚勫悜寮傛с侀夋嫨鎬с佽殌鍒荤巼銆佹皵浣撴祿搴﹀搴旂殑琛ㄩ潰 绮楃硻搴︺佸帇鍔涖佸皠棰戝姛鐜囥佹俯搴︽帶鍒? 娣卞弽搴旂瀛愬埢铓(DRIE) 涓轰簡渚у鐨勪繚鎶ゅ拰鍘婚櫎锛屼氦浜掕繘琛屽弽搴旂瀛愬埢铓鍜岃仛鍚堜綋娌夌Н杩?绋?铓鍒荤浉浣? SF6/Ar 鑱氬悎杩囩▼: CHF3/Ar褰㈡垚绫讳技鐗规盁绾剁殑灞?浠呮瘮Bosch鍔犲伐杩囩▼涓撳埄鏅?骞达紝1994骞?鎺╄啘 纭?铓鍒? -1.5 鍒?4渭m/min -瀵硅仛鑴傞夋嫨鎬т负100姣? 绛夌瀛愯殌鍒?閫氳繃鍙嶅簲绂诲瓙鐨勭函绮瑰寲瀛﹁殌鍒汇佸悇鍚戝悓鎬?娌夌Н鑱氬悎浣?鑱氬悎浣? 姘旂浉铓鍒?閲囩敤鍙嶅簲姘斾綋锛孹eF2 涓嶇敤鐑樺共

    下一页

  • 下载地址 (推荐使用迅雷下载地址,速度快,支持断点续传)
  • 免费下载 PDF格式下载